Глава НЦФМ рассказал об отечественной альтернативе литографическому оборудованию от ASML

23 ноября 2022, ,
3
В России разработают аналоги оборудования ASML

На просторах Сети уже появлялась информация о том, что в России ведутся работы по литографической установке, способной выпускать 7-нм чипы и даже говорилось о первых образцах полупроводников, а теперь появились новые данные по разработкам в этом направлении.

По словам научного руководителя НЦФМ Александра Сергеева, которые он привел выступая на завершившемся сегодня форуме «Атомэкспо 2022», в основе российского литографического оборудования будут лежать три отечественных достижения.

В пример, на который нужно ориентироваться и даже обойти его, Сергеев привел литограф от ASML с модельным номером NXE:3400B, имеющий 13,5-нанометровую длину волны. Принцип функционирования данного оборудования заключается в испарении лазерной установкой капель из олова, в итоге чего образуется плазма, а уже рентген-излучение от нее используется непосредственно для самой фотолитографии.

В России разработают аналоги оборудования ASML

Что же касается «трех достижений» — это активная разработка сканера с высокой мощностью, подготовка к применению рабочего тела, отличающегося от применяемого в машинах ASML олова, чем сейчас занимаются специалисты РФЯЦ-ВНИИЭФ, а также разработка рентгеновских зеркал для фокуса излучения — по ним работы идут в ИПФ РАН, а также Федеральном ядерном центре (г.Саров).

Как утверждает Сергеев, совместная агрегация вышеуказанных разработок при участии специалистов НЦФМ и непосредственной поддержке «Росатомом», в ближайшие 2-3 года позволит создать российское литографическое оборудование с мощностью, которая будет в разы превосходить аналоги от ASML, а длина волны будет такой же — 13,5 нм.

Поделиться
Вконтакте
ЧИТАЙТЕ ТАКЖЕ
Комментарии  3
  • Al24 ноября 2022 в 04:24

    Литограф на который ссылаются в статье то махина 180 т. и с 5000 поставщиков комплектующих, создающийся в фирме которая работает в той сфере не один десяток лет. В статье рассказывают, что через 2-3 года у нас будет аналог этого аппарата, я даже боюсь представить, что должен был курить человек, который дает подобные обещания.

    Ответить
  • IA24 ноября 2022 в 09:46

    Дай это задание гаражному сантехнику-он эту побебень за день из сварочного аппарата сделает.

    Ответить
  • Алекс25 ноября 2022 в 02:21

    Хотя бы 200-100 нм потяните массовое производство, уже неплохо будет. 32 нм — уже прямо жить можно. А всё это "догоним и перегоним" звучит просто смешно, учитывая ситуацию и бюджет.

    Ответить
(без регистрации)
Любопытный факт
Без нынешней атмосферы, созданной парниковым эффектом, средняя температура на нашей планете была бы -15 градусов по Цельсию.
Обновить
Свежие Комментарии

ВойтиРегистрация
Вход
Почта:
Пароль:
Регистрация
Почта:
Имя:
Пароль: